MOCVD反应腔体数值模拟

采用计算流体力学的方法对MOCVD反应腔体内的流场及化学反应进行数值模拟，能够直观的获得反应器内各组分的浓度分布、温度分布、流动状况及表面反应的速率与均匀性等信息。而这些信息难以通过实验来较为全面的获得。因此，数值模拟能够大大提高实验效率，降低生产成本。上海超级计算中心受理想能源设备（上海）有限公司之托，开展MOCVD反应腔体的数值模拟工作，对反应腔体的输入参数及结构特点进行模拟分析，从而改进操作条件，优化工艺及结构设计。为设计能够均匀稳定生长薄膜晶体的反应器提供有利参考。